Waferhandling-Systeme für höchste Ansprüche in der Halbleiterfertigung
Präzision, Geschwindigkeit und Reinraumtauglichkeit in einer Lösung
Waferhandling ist das Herzstück moderner Halbleiterfertigung. Jede Prozessstufe, vom Wafering bis zur finalen Prüfung, erfordert absolut zuverlässige, hochdynamische und kontaminationsfreie Bewegungen. JAT entwickelt und liefert komplette Antriebslösungen, die diese Anforderungen in Perfektion erfüllen. Mit unserer Kombination aus Luftlagern, CFK-Leichtbau, modularen Achssystemen und Reinraumtauglichkeit bis ISO 5 decken wir den gesamten Bedarf von KMUs bis Global Playern ab.
Typische Anwendungen in der Leiterplattenfertigung, die höchste Anforderungen an Antriebstechnik stellen:
- Wafertransfer zwischen Prozessstationen mit kontaktloser Luftlagertechnik für Partikelfreiheit
- Präzise Positionierung in Wafersteppers und Lithografieanlagen mit Wiederholgenauigkeiten bis 100 nm
- Automatisierte Wafer-Inspektionssysteme mit vibrationsfreien Achsen für höchste Bildqualität
- Handling von dünnen oder empfindlichen Wafersubstraten durch thermisch stabile Systeme mit Granitbasis
- Pick-and-Place von Chips und Dies mit ultraleichtem CFK-Achssystem für höchste Beschleunigung
- Integration von optischen Prüfsystemen für hybride Fertigungsprozesse
Individuelle Potenzialanalyse für Ihre Antriebslösung
Finden Sie in nur 15 Minuten heraus, wie kundenspezifische Servoantriebe und Antriebssysteme Ihre Prozesse optimieren können - kostenfrei und unverbindlich.
Steigern Sie Effizienz, Präzision und Dynamik mit individuell entwickelten Antriebslösungen, exakt abgestimmt auf Ihre Fertigungsanforderungen.
JAT Lösungen für Waferhandling
Mit langjähriger Branchenerfahrung und einem umfassenden Technologieportfolio entwickelt JAT komplette Handlingsysteme für die Waferanwendungen, von der Idee bis zur Serienreife.
Praxiserprobte Lösungsbeispiele:
Thermisch stabiles Granitportal
für kritische Belichtungsprozesse, luftgelagerte Achsen, Z-Tilt-Shift-Tisch zur Niveauregulierung, Ansteuerung via Servoverstärker ECOVARIO®s
Pick-and-Place-Modul
mit maximaler Beschleunigung von 100 m/s², vibrationsfrei und reinraumtauglich
Kamerasynchronisierte XY-Kreuztischplattform
ideal für AOI-Systeme, Synchronbewegung mit Nanometergenauigkeit für exakte Bildaufnahme und Auswertung.
Luftgelagerter Rundtisch
Positioniertisch mit niedrigem Profil für die Wafer-Handhabung im Submikrometerbereich, präzise geregelt von dem Servoverstärker ECOVARIO®
CFK-Grundachse mit CFK-Schlitten
Stapelbare Achse mit luftgelgertem Schlitten aus carbonfaserverstärkter Kunststoff, ermöglicht Gewichtsvorteile, hohe Beschleunigungen und Wiederholgeneuigkeit bis ± 50 nm.
Positioniersystem
Hochpräzise Laserausrichtung mit Gierfehlerkompensation und Wiederholgenauigkeit <100nm.
Ob für KMUs mit spezifischem Projektbedarf oder globale Halbleiterkonzerne mit höchsten Skalierungsanforderungen, JAT liefert passgenaue Lösungen.
Jetzt maßgeschneiderte Lösung anfragen
Anforderungen an die Anwendung
Die Halbleiterfertigung stellt extrem hohe Ansprüche an Waferhandling-Systeme:
- Nanometerpräzision: Strukturgrößen im Nanobereich erfordern maximale Wiederholgenauigkeit
- Vibrationsfreiheit: Jeder mechanische Impuls kann zu Defekten führen
- Kontaminationskontrolle: Partikel können ganze Chargen unbrauchbar machen
- Temperaturstabilität: Minimale Ausdehnungen sichern die Maßhaltigkeit
- Hohe Dynamik: Kurze Taktzeiten steigern die Produktivität
- Prozessflexibilität: Schnelle Umrüstung für verschiedene Wafergrößen und -prozesse
JAT erfüllt diese Anforderungen durch:
- Luftlager- und CFK-Technologie für partikel- und verschleißfreie Bewegungen
- Granitbasen zur thermischen Stabilisierung und Schwingungsdämpfung
- Modular aufgebaute Achssysteme für schnelle Prozesswechsel
- Hochdynamische Servoantriebe mit ECOVARIO®-Servoverstärkern und ECOSTUDIO®-Inbetriebnahmesoftware
Unser Kunde sagt: "Die Antriebslösung von JAT für unser Waferhandling-Modul hat unsere Ausschussrate halbiert und die Positionierzeiten um 40 Prozent verkürzt."
Ihre Vorteile mit JAT im Waferhandling
Steigerung der Ausbeute: Minimierte Ausschussraten durch präzisere Positionierung
Produktivitätssteigerung: Schnellere Taktzeiten bei gleichbleibender Qualität
Reduzierte Betriebskosten: Wartungsfreie Luftlagertechnik verlängert Lebensdauer
Einfache Integration: Kompatible Schnittstellen zu bestehenden Anlagen
Zukunftssicherheit: Skalierbare Plattformen für kommende Prozessgenerationen
Warum Sie sich im Waferhandling für JAT entscheiden sollten
- Komplette Antriebslösung aus einer Hand
Von der mechanischen Konstruktion über Elektronik und Software bis hin zur Fertigung und Inbetriebnahme erhalten Sie bei JAT ein durchgängiges, optimiertes System.
- Langfristige Partnerschaft und Support
Unsere Anwendungstechniker begleiten Ihr Projekt über den gesamten Lebenszyklus und sichern so gleichbleibende Performance.
- Branchen- und Prozess-Know-how
Jahrzehntelange Erfahrung in der Halbleiterindustrie und Reinraumtechnik garantieren maßgeschneiderte Lösungen für Ihre Produktionsumgebung.
Vertrauen Sie auf bewährte Qualität
ISO 9001 & ISO 14001 zertifiziert
Qualität und Umweltverantwortung garantiert
Erfahrung aus über 5.000 Projekten in 45 Ländern
global präsent, lokal verfügbar
Reinraumfertigung bis ISO Klasse 3
ideal für Waferhandling-Systeme
100 % Inhouse-Kompetenz
vom Konzept bis zur Serienfertigung
>200.000 gelieferte Servokomponenten weltweit
Zuverlässigkeit durch Erfahrung
Nachhaltige Produktion
entwickelt und gefertigt im CO₂-neutralen Firmenkomplex