Präzisions-Linearaktuator (Reinraum) Variante 2
- Linearmotorachse mit Moving-Magnet Prinzip (Spuleneinheit mit Messkopf ist fest montiert und die Magnetbahn bewegt den Schlitten mit Maßband)
- Zum hochgenauen Positionieren von Linsen
Anforderungen
- Einsatz im Reinraum Klasse 100 – kein Abrieb oder Verschleiß der Kabel
- Integration in vorhandenes Optiksystem
- Einsatz in 24/7 Dauerbetrieb
- Sehr hohe mechanische Genauigkeit
- Temperaturstabilität: 22°C ±2°
Umsetzung
- Material der Grundplatte nach Wärmeausdehnungskoeffizient der Führung gewählt
- Mit Moving Magnet Prinzip aufgebaut um Reibung zu vermeiden
- Kleinster möglicher Aufbau / Komponenten
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