Präzisions-Linearaktuator (Reinraum) Variante 2

Max. Beschleunigung	3 m/s²
Max. Geschwindigkeit	0,4 m/s
Hub	50 mm (mehr möglich)
Höhenfehler je Schlitten	≤1 µm
Seitlicher Ablauffehler je Schlitten	≤1 µm
Max. Höhenfehler der Schlitten zueinander	100 µm
Max. Rollfehler, Gierfehler, Nickfehler	≤±100 Mikrorad
Reibstrom pro Schlitten	<0,2 A
Wiederholgenauigkeit in Bewegungsrichtung	±1 µm
Positionsauflösung	0,2 µm

Linearmotorachse mit Moving-Magnet Prinzip (Spuleneinheit mit Messkopf ist fest montiert und die Magnetbahn bewegt den Schlitten mit Maßband)
Zum hochgenauen Positionieren von Linsen

Anforderungen

Umsetzung

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