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Präzisions-Linearaktuator (Reinraum) Variante 1

Technische Daten

Max. Beschleunigung3 m/s2
Max. Geschwindigkeit0,4 m/s
Hub50 mm (mehr möglich)
Höhenfehler je Schlitten≤1 µm
Seitlicher Ablauffehler je Schlitten≤1 µm
Max. Höhenfehler der Schlitten zueinander100 µm
Max. Rollfehler, Gierfehler, Nickfehler≤±100 Mikrorad
Reibstrom pro Schlitten<0,2 A
Wiederholgenauigkeit in Bewegungsrichtung<0,5 µm
Positionsauflösung0,05 µm
  • Linearmotorachse mit Moving-Magnet Prinzip (Spuleneinheit mit Messkopf ist fest montiert und die Magnetbahn bewegt den Schlitten mit Maßband)
  • Positionierung von Optiken

Anforderungen

  • Einsatz im Reinraum Klasse 100 – kein Abrieb oder Verschleiß der Kabel
  • Einsatz in 24/7 Dauerbetrieb
  • Sehr hohe mechanische Genauigkeit
  • Temperaturstabilität: 22°C ±2°

Umsetzung

  • Eine gemeinsame Kugelumlaufführung für alle Schlitten
  • Material der Grundplatte nach Wärmeausdehnungskoeffizient der Führung gewählt
  • Aufbau und Antriebe im System zueinander versetzt – zur Optimierung der Gesamtlänge

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