Präzisions-Linearaktuator (Reinraum) Variante 1

Präziser Linearaktuator mit Moving-Magnet Prinzip zum Positionieren von Optiken.

Technische Daten

Max. Beschleunigung	3 m/s²
Max. Geschwindigkeit	0,4 m/s
Hub	50 mm (mehr möglich)
Höhenfehler je Schlitten	≤1 µm
Seitlicher Ablauffehler je Schlitten	≤1 µm
Max. Höhenfehler der Schlitten zueinander	100 µm
Max. Rollfehler, Gierfehler, Nickfehler	≤±100 Mikrorad
Reibstrom pro Schlitten	<0,2 A
Wiederholgenauigkeit in Bewegungsrichtung	<0,5 µm
Positionsauflösung	0,05 µm

Linearmotorachse mit Moving-Magnet Prinzip (Spuleneinheit mit Messkopf ist fest montiert und die Magnetbahn bewegt den Schlitten mit Maßband)
Positionierung von Optiken

Anforderungen

Einsatz im Reinraum Klasse 100 – kein Abrieb oder Verschleiß der Kabel
Einsatz in 24/7 Dauerbetrieb
Sehr hohe mechanische Genauigkeit
Temperaturstabilität: 22°C ±2°

Umsetzung

Eine gemeinsame Kugelumlaufführung für alle Schlitten
Material der Grundplatte nach Wärmeausdehnungskoeffizient der Führung gewählt
Aufbau und Antriebe im System zueinander versetzt – zur Optimierung der Gesamtlänge

Produkt anfragen

Kontaktieren Sie uns

Wir freuen uns sehr, Ihre Fragen zu unseren Produkten & Lösungen, zu Technologien oder zum Unternehmen zu beantworten. Finden Sie für Ihr Anliegen den richtigen Ansprechpartner.

Ansprechpartner finden

E-Mail schreibenNewsletter abonnierenAuf LinkedIn folgen